Горизонтальная трубчатая печь SCHMID

Трубчатая печь для POCl3 и совместной диффузии.

Диффузия, отжиг и окисление высокой чистоты

Диффузионная печь HTF оснащена до 4 индивидуально регулируемыми трубками. Пластины загружаются и выгружаются в трубы автоматически с помощью погрузочных устройств. Одна загрузка устанавливается в трубу за цикл, при загрузке «спина к спине» можно оборудовать до 500 пластин. После обкатки и нагрева процесс начинается с этапа стабилизации. Затем азот используется в качестве газа-носителя для жидкости POCl3. В конце процесса происходит стадия окисления. По истечении установленного времени диффузии трубку открывают для последующей разрядки.

Преимущества

• Очень однородное и воспроизводимое формирование эмиттера
• До 4-х независимо работающих кварцевых трубок, что обеспечивает резервирование / высокую доступность
• Цифровой контроль процесса и температуры для каждой отдельной технологической трубы
• Возможна загрузка «спина к спине»
• Доступна как полностью автоматизированная система с автоматической загрузкой
• Система водяного охлаждения для предотвращения соприкосновения труб друг с другом
• Настраивается как для диффузии POCl 3, так и для высокотемпературной диффузии CO