и cовмещение. Цвет до экспонирования зеленый, после экспонирования голубой.
Свойства:
- Хорошая стойкость ко всем кислым растворам осаждения (Cu, Sn, Pb/Sn).
- Высокая разрешающая способность при минимальной экспозиции.
- Высокая тентирующая способность, с возможностью перекрывать отверстия до 7,5 мм.
- При раздубливании фоторезист удаляется мелкими частицами без образования прозрачных пленок в «карманах» топологии рисунка, что максимально благоприятствует совмещенному конвейеру — раздубливание, промывка, травление без промежуточной стадии контроля.
Обработка щетками, пемзовая обработка, микротравление.
Накатка фоторезиста:
Предварительный нагрев |
Температура заготовок на выходе 30-60°C |
Температура валиков |
100-120°C |
Скорость накатки |
1,0-3,0 м/мин |
Промывка |
35-50 psi |
Давление на валик (воздушное) |
40-65°C |
Экспонирование:
|
Liuxi T15 |
Liuxi T20 |
---|---|---|
Энергия экспонирования |
30-70 мДж/см |
40-90 мДж/см |
Экспонирование по клину Штоуфера (21) |
7-10 |
7-11 |
Время выдержки (минимальное) |
15 минут |
15 минут |
Проявление:
Концентрация Na2CO3 |
0,8-1,2 % |
Температура |
28-34°C |
Давление раствора |
1,5-2 кг/см2 |
Время проявления |
40-48 секунд при 30°C |
Удаление:
Концентрация NaOH |
2-4 % |
Температура |
40-55°C |
Давление раствора |
1,5-2 кг/см2 |
Время удаления |
40-60 секунд при 40°C |
Поставки и сроки хранения
Стандартная ширина рулона 305 мм и 610 мм. По желанию заказчика производится нарезка с шагом 2 мм. Длина рулона 180 метров и 150 метров для Т15 и Т20 соответственно. Фоторезист поставляется в коробках по два рулона.
Срок хранения 9 месяцев с даты выпуска.